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設(shè)備類型：在線全自動(dòng)3D SPI
特 性：3D高精度輪廓測(cè)量技術(shù)應(yīng)用
適用基板：50mm x 70mm - 510mm x 460mm
基板厚度：0.6mm - 6.0mm 分辨率：10μm - 15μm (可調(diào))
高度測(cè)量精度：1μm
外形尺寸：W1080 x D1300 x H1850(mm)
重量：740KG
Mirage-D:全自動(dòng)在線雙軌3D SPI
外形尺寸：W1160 x D1470 x H1875(mm)
